半导体行业
行业痛点:
1.超高纯度控制要求高,泄漏污染风险高。
2.极端工况对阀门性能要求高。
解决方案:
1.通过高集成的方式在节省体积的同时,减少了泄露风险。
2.产品形式多样化,内部可抛光,延长使用寿命。
优势:
1.产品体积小,有效提升产线空间利用率。
2.采用一体化设计大幅降低接口数量,从源头控制泄漏风险。
应用案例
沥青洒步设备
晶体生长炉
轻型原子层沉积镀膜系统
